氮化硅针状晶体的制备

摘要

采用Si粉直接氮化的方法制备氮化硅针状晶体 .通过热力学计算 ,选择了晶体生长的温度和压力范围 .探讨了温度、压力、添加剂等对针状晶体晶相、形貌、产率的影响 ,并在 1 850℃ ,CaO质量分数为 1 0 %条件下 ,制备了长径比为 4～ 1 0的 β -Si3N4 针状晶体 ,产率为 68% .采用XRD ,TEM ,SEM对得到的氮化产物及针状晶体进行了表征 .