1.55μm DFB半导体激光器亚微米光栅

摘要

论述了用全息技术制作1.55μm 分布反馈半导体激光器亚微米光栅的过程;优化工艺后,获得了高质量的光栅。建立了简单而准确的光栅周期测试系统。