提高半导体器件成品率的有效对策

摘要

从技术、管理等方面入手，讨论了影响器件成品率的诸因素及提高成品率的对策。介绍了一种有效、相容的吸杂工艺；从工艺优化设计角度讨论了提高成品率的各种途径。