基于指数拟合的半导体瞬态热学测试分析方法

摘要

根据瞬态热测试结果反推结构函数法的算法步骤通常包括数据拟合、平滑、求导、反卷积和网络结构转换,其中拟合和平滑分两步实现。在后续数据处理中,由于实际的测试数据信号含有很多未知噪声,往往会导致病态或不适定问题,所以在获得最终结构函数之前需要对测试数据进行去噪平滑处理。采用在原始数据理论数学模型基础上建立起来的利用最小二乘法拟合进行的数据平滑方法,此方法既省去了测试数据因寄生误差而必须进行的拟合操作,又能对含噪瞬态响应数据进行平滑,从理论建模分析和实际测试数据的分析及应用均可以看出该方法是有应用价值的。