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郑宜钧; 王明善; 贾永华; 洪海燕;
信息产业部无锡微电子科研中心;
深硅槽; 硅隔离; 离子注入; 光刻; 腐蚀;
机译:一种新的解决方案,用于切削和加工长悬伸的深槽
机译:一种新的2D硅纳米模制,用于在4英寸直径基板上的线性纳米槽
机译:深亚微米ULSI的一种新的接触塞技术是利用氮化钛塞子对多晶硅进行选择性镍硅化
机译:一种新的多晶硅电阻器模型,针对深亚微米CMOS工艺考虑了几何形状相关的电压特性
机译:一种深亚微米单栅极CMOS技术,使用通过快速热化学气相沉积形成的原位掺杂硼的多晶硅锗锗栅极
机译:单种植体植入的一种新的经牙槽窦提升程序:Ebanist技术。技术说明和案例系列
机译:微机芯的工艺技术。深硅加工反应离子蚀刻系统的制造。
机译:一种新的用于深空网络的低温冷却8.4 GHZ行波脉冲激光器
机译:硅质基质浅槽和深槽的形成
机译:硅晶片功率组件上具有金属化侧壁的半导体组件在组件的底面和部分覆盖的金属侧壁上具有金属边缘,并在硅晶片上蚀刻出深槽。
机译:一种新的工艺技术,用于生产瓦斯纳帕蒂(VAVNASPATI)所需的PUFA(多聚甲醛不饱和脂肪酸)和各种甘油成分的营养化脂肪,直接由商业上精制的油和在淀粉下的淀粉相互间酯化
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