Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性

摘要

研究了Mn或Cu掺杂的非晶AlN薄膜在室温下的发光性质。Cu或Mn掺杂的非晶AlN薄膜是在玻璃衬底上采用中频反应磁控溅射制备的。X射线衍射（XRO）结果表明薄膜为非晶。由X射线能谱（EDX）检测分析结果得到薄膜中Cu和Al含量比例为1：10，Mn和Al含量比例为1：15。光致发光光谱表明Cu掺杂的AlN薄膜能发出强烈的蓝光（～430m）而Mn掺杂则表现为红光（～650nm）。