MOD法制备YBCO超导薄膜

摘要

论述了金属有机化合物热解法即ＭＯＤ法制备高温超导氧化物薄膜的优越性及可行性。详细介绍了以三氟乙酸盐为金属前驱物，用ＭＯＤ法制备ＹＢＣＯ超导薄膜的方法并对观察结果进行了分析讨论。在１０×１０×０．５ｍｍ￣３Ｚｒ（Ｙ）Ｏ＿２单晶抛光衬底上，用ＭＯＤ法成功地获得了Ｔ＿（ｃｏ）＝８２Ｋ的ＹＢＣＯ超导薄膜。