铁氧体瓷棒真空镀膜技术

摘要

表面金属化的铁氧体瓷棒是铁氧体圆极化移相器的关键构件,表面金属化膜层的均匀性是其重要的指标.本文主要研究镀膜工艺、镀膜夹具对镀膜均匀性的影响.采用脉冲宽度经验测试法对铁氧体棒表面镀膜厚度进行测量,采用矢量网络分析仪及自制波导系统组成的测试系统对镀膜的铁氧体棒插入损耗进行测量.结果表明脉冲宽度测试法是一种较好的经验方法,适合于生产中对铁氧体棒表面膜层厚度进行测量;真空蒸发和磁控溅射镀膜的棒体其插入损耗指标没有明显的区别;磁控溅射工艺及夹具系统与真空蒸发工艺及夹具系统相比,更有利于获得较高的镀膜厚度一致性.