一种采用芯棒加热结构均匀分配金属蒸汽的真空镀膜装置

摘要

本发明公开了一种采用芯棒加热结构均匀分配金属蒸汽的真空镀膜装置，包括坩埚，所述坩埚的外侧设有用以将所述坩埚内的金属液加热形成金属蒸汽的感应加热器，所述坩埚顶部通过蒸汽金属管道连有布流箱体，所述布流箱体内设有水平向的芯棒和稳压板，所述芯棒位于所述稳压板的下方，所述布流箱体的顶部设有镀膜喷嘴，所述布流箱体的外侧设有感应线圈，所述蒸汽金属管道上设有调压阀；所述芯棒上开有数个加热孔，所述加热孔内设有电阻丝，所述芯棒朝向所述蒸汽金属管道的表面上设有数个冲击槽；所述布流箱体的内壁上开有缓冲槽，所述缓冲槽与所述芯棒的位置相对应。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。