基于电荷控制压电陶瓷驱动方法的研究进展

摘要

压电陶瓷驱动器在电场作用下将产生迟滞和蠕变,从而降低其定位精度。采用电荷控制可以减小位移迟滞和蠕变,该文从电流源电荷反馈和电压源电荷反馈两个角度,总结国内外各种电荷控制方案,进而提出应该优先选用电流源驱动压电陶瓷,并根据应用场合不同选择相应电荷控制方法的结论。