退火对二氧化钛薄膜光学性能的影响

摘要

采用改进的溶胶-凝胶(sol_gel)法在载玻片上制备了TiO2薄膜。对TiO2干凝胶粉末进行了差热分析(DTA);用分光光度计测试了TiO2薄膜500℃退火前后的透射谱,采用"包络法"计算了TiO2薄膜的折射率、厚度和带隙。结果表明:当波长从700nm减小到400nm时,薄膜的折射率从1.465增加到1.485。退火前后TiO2薄膜的厚度分别为595.836nm和652.4547nm。未退火TiO2薄膜的光学带隙为3.85eV,500℃退火后TiO2薄膜的光学带隙为3.67eV。与未退火薄膜相比,500℃退火后TiO2薄膜的吸收边出现了"红移",光响应区范围变大,提高了可见光的利用率。