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超光滑纳米金刚石薄膜制备新技术与应用基础研究

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1项目负责人及所在单位：孙方宏,上海交通大学 2起止年限：2006年1月～2008年12月 3项目简介采用热丝化学气相沉积方法在WC-Co硬质合金基体上沉积纳米金刚石薄膜,研究开发不损伤原有硬质合金光滑衬底表面的预处理新方法,探索出在光滑WC-Co硬质合金表面沉积纳米金刚石薄膜CVD涂层新技术.

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来源
《机械工程学报》 |2010年第20期|192-192|共1页
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正文语种 chi
中图分类表面光洁度（表面粗糙度）的测量及其量仪;
关键词
纳米金刚石薄膜; 超光滑; 新技术; 基础研究; 薄膜制备; WC-Co硬质合金; 化学气相沉积方法; 硬质合金基体;

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