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超光滑金刚石复合薄膜的制备、摩擦学性能及应用研究

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本文针对国内外CVD金刚石薄膜在硬质合金工模具领域应用中存在的膜基结合强度低,薄膜表面光滑性和均匀性差、表面抛光困难等关键技术难题,开发了超光滑金刚石复合薄膜制备技术,

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来源
《机械工程学报》 |2012年第18期|185-185|共1页
作者
沈彬; 孙方宏(指导教师);
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作者单位

上海交通大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TG135.5;
关键词
CVD金刚石薄膜; 膜制备技术; 复合薄膜; 超光滑; 摩擦学性能; 应用; 膜基结合强度; 硬质合金;

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