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张帅; 张正选; 毕大炜; 陈明;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
信息功能材料国家重点实验室;
中国科学院研究生院;
SOI; SIMOX; Pseudo—MOSFET; 隐埋氧化层;
机译:植入式氧气(SIMOX)基质分离的电学表征
机译:利用MOSOS C-V测量对SIMOX SOI晶圆进行电学表征
机译:用于替代栅极电介质应用的超薄硅酸ha薄膜的工艺开发,材料分析和电学表征。
机译:低尺寸纳米材料的原位SEM力学和电学表征的最新进展
机译:硫化EpDm共聚物和三氢氧化铝复合材料的电学和物理表征硫化EpDm共聚物和氢氧化铝复合材料的电学和物理表征
机译:用于表征脆性材料的超薄切片技术的进展。
机译:简要描述多晶有机材料,该多晶有机材料特别是具有药理学电学的材料,获得的材料以及包含该材料的调节剂电学
机译:超薄simox工艺制造浅沟槽隔离的方法
机译:通过超薄SIMOX工艺制造浅沟槽隔离的方法
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