Mo电极形貌对AlN薄膜择优取向生长的影响

摘要

采用射频磁控溅射方法在不同形貌的Mo电极上制备了(002)择优取向的AlN薄膜。采用XRD、FESEM表征了Mo电极及AlN薄膜的结构、表面形貌及择优取向。结果表明,Mo电极的形貌影响AlN薄膜的择优取向生长,在较高溅射气压下沉积的Mo电极晶粒细小、分布均匀,有助于AlN薄膜(002)择优取向生长。