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MOCVD激光诱导选择原子层外延(LALE)生长室的研究

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本文对 MOCVD 激光诱导选择原子层外延进行了研究,设计并制作了一种激光诱导原子层外延生长室结构,该系统能实现低温 MOCVD 生产,可形成稳定的层流,易于生长均匀的外延层,通过激光诱导可实现选择性的原子层外延.

著录项

来源
《光子学报》 |1996年第4期|318-321|共4页
作者
罗风光; 曹明翠; 李洪谱; 万安君; 徐军; 李再光;
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作者单位

华中理工大学激光技术国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.054;
关键词
MOCVD; 激光诱导; 选择原子层; 外延生长;

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