平面栅形结露检测电容及其敏感模型研究

摘要

本文研究了一种采用微加工工艺的平面薄膜栅形结露敏感电容元件，可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其优化设计方法和敏感特性。