一种薄膜栅形电容结露敏感元件的研制

摘要

该文研究了一种采用微加工工艺的平面薄膜栅形电容结露敏感元件，可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其优化设计方法和敏感特性。