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一台自制溅射负离子源的改进

         

摘要

自1995年以来,在中科院近物所2MV串列静电加速器上对溅射负离子源进行了调试.调试中对源体作了重大的改进,逐步完善了运行工艺,利用该离子源加速器可长时间提供Li、C、O离子束.

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