极高真空电离真空规

摘要

研制成功了三种结构的具有管型电子倍增器的电离规,企图解决低到10^(-14)托的压强测量问题。新型倍增器在极高真空测量中的应用,为解决10^(-13)～10^(15)托的测量难题提供了新的可能。