铁电薄膜铁电性能的测量

摘要

本文介绍了铁电薄膜材料铁电性能的测量原理和方法。分析了以传统测量电路Sawyer Tower电路为基础的电滞回线测量方法和基于虚地模式的电滞回线测量方法 ,并提出了一种基于计算机的铁电性能综合测试仪的实现方案 ,对其中的主要部分微电流放大器的设计作了介绍。该测试仪不仅能画出铁电薄膜的电滞回线 ,还可以得到铁电薄膜材料的饱和极化Ps、剩余极化Pr、矫顽场Ec、漏电流Ik等参数 ,以及对铁电薄膜材料的铁电疲劳性能、铁电保持性能的测试。