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粟鹏义; 陈开盛; 曹庄琪;
上海光刻电子科技有限公司;
上海交通大学;
光刻版; 版图; 电子设计自动化软件; 有限状态机; 计算机仿真; 状态转换; 输入; 图形处理; 数据处理; 模型;
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机译:网版组件,光刻技术,在光刻过程中的使用以及在光刻过程的单次扫描运动中投影两个或更多图像场的方法
机译:网版组件,光刻技术,在光刻过程中的使用以及在光刻过程的单次扫描运动中投影两个或多个图像场的方法。
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