ZnO透明导电膜的制备方法

摘要

ZnO膜是近几年研究较多的、有希望取代ITO膜的大面积、低成本的透明导电膜。本文详细介绍了制备ZnO膜的射频磁控溅射法,制备工艺对膜的电学、光学和结构的影响,各种掺杂对ZnO膜性能的影响。最后,简要介绍了ZnO膜的其它制备方法。