多孔陶瓷薄膜表面形貌研究

摘要

用原子力显微镜（AFM）观察Al2O3、Al2O3－SiO2及Al2O3－SiO2－TiO2复合陶瓷薄膜的表面形貌．X射线衍射（XRD）分析表明，Al2O3薄膜的晶相为γ－Al2O3；Al2O3－SiO2薄膜由γ－Al2O3和非晶态SiO2组成：而Al2O3－SiO2－TiO2薄膜的相成分为Al2O3、TiO2、Al4Ti2SiO12和非晶态SiO2，各相的含量随化学成分变化而变化．AFM观察结果表明，Al2O3、Al2O3－SiO2薄膜均为片状颗粒堆垛而成，Al2O3－SiO2－TiO2薄膜则为层状结构．薄膜的表面形貌也随体系成分改变而改变．通过表面粗糙度的计算，认为各组分对表面特征的贡献不同：TiO2有利于降低表面粗糙度，而SiO2则使表面粗糙度增加．说明陶瓷薄膜具有极大的表面改性潜力．