双幂指数散射截面在离子射程分布计算中的应用

摘要

应用双幂指数散射截面求解输运方程 ,推导出离子射程分布函数矩的递推公式 ,表明双幂指数截面与传统的单幂截面一样 ,可以用来求解输运方程 .此外 ,采用 Padé逼近 ,由分布函数的矩成功地组合了分布函数 ,计算精度都达到 1 0 -8以上 ,这说明 ,在由矩组合分布函数的计算方面 ,Padé逼近可能是最佳的运算工具 .通过大量的计算发现 ,当入射离子能量比较低时 (几百电子伏特 ) ,离子注入深度要比用传统单幂截面所计算的值浅一些 ,分布范围也窄一些 ,这与作者对溅射原子出射深度以及 Frenkel-对产生计算所得的结论相符 .但当选择特征长度为深度单位时 ,用单、双截面计算的无量纲归一化离子射程分布函数相当符合 。