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刘孝丽; 熊玉卿; 周利成; 王瑞; 钟浩; 任立庆; 任妮;
榆林学院能源工程学院;
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室;
激光束刻蚀; 铝/聚酰亚胺; 图形形貌; 扫描速度; 应力;
机译:激光刻蚀烧蚀聚酰亚胺衬底上厚铝膜的理论模型
机译:聚酰亚胺上铝薄膜的激光刻蚀机理研究
机译:用微波技术研究轨迹刻蚀的纳米多孔聚酰亚胺膜中的离子电导率
机译:真空沉积聚酰亚胺-铝复合材料的激光效应
机译:PI-2聚酰亚胺的晶体结构及其对相关PI-2 /碳纤维复合材料界面的影响。
机译:化学刻蚀机械珩磨和激光精加工处理的铝硅合金的抗磨性能
机译:InGaalp复合半导体系统的电感耦合等离子体和电子回旋共振等离子体刻蚀;固态和材料科学
机译:聚酰亚胺树脂膜的刻蚀方法,使用该方法的布线结构以及被刻蚀的材料的加工方法
机译:薄板激光焊接装置,薄片激光焊接方法,板激光焊接结构,聚酰亚胺板激光焊接装置,聚酰亚胺板激光焊接方法,聚酰亚胺板激光焊接结构
机译:干法刻蚀层序列,用于各向异性刻蚀含铝基板,方法是在包含卤素的气体等离子中刻蚀第四层,并在包含卤素和氮的气体中等离子体刻蚀第三层
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