低温共烧微波介质陶瓷及其器件的研究进展

摘要

评述了BiNbO4,MO–TiO2(M=Mg,Zn,Ba),AB2O6(A=Ba,Mg,Zn,B=Nb,Ta),MO–SiO2(M=Ca,Mg,Zn),CaO–Li2O–Nb2O5–TiO2,BaO–Ln2O3–TiO2(Ln=Sm,Nd)等低温共烧(low-temperature co-fired ceramics,LTCC)微波介质陶瓷的结构及性能。讨论了微波介质陶瓷的降温方法、机制及其存在的问题,分析了LTCC微波介质陶瓷工艺特性。概述了滤波器、天线、谐振器等片式多层微波器件的研究进展。提出了LTCC微波介质陶瓷及其器件的今后的研究方向。