高频高精度石英晶体元件电参数测量技术研究

摘要

在介绍π网络法石英晶体元件电参数测量原理的基础上，设计了一种频率高达200MHz的石英晶体元件电参数测量系统，分析了石英晶体元件和π网络的等效电路，采用自动网络分析方法计算出石英晶体元件的阻抗，并依次消除了系统误差和测量误差。实验证明，在1～200MHz频率范围内，系统对串联谐振频率测量误差在±1×10^-4以内，重复测量一致性在±0．5×10^6以内。