M/PS/Si/M结构的电致发光

摘要

用阳极氧化工艺制作了多孔硅（ＰＳ）膜，采用第二次阳极氧化的方法看到了多孔硅的电致发光现象；并制作了一个Ｍ／ＰＳ／Ｓｉ／Ｍ类肖特基结构的发光二极管，观察到其电致发光，但其电致发光效率与强度很低，寿命很短，提出了研制实用化的多孔硅电致发光器件的努力方向。