轨道分子屏极高真空系统的抽气方程

摘要

地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,真空系统的抽气方程式是:P=Q/S;轨道分子屏系统是开放的,或者说具有部分真空容器,相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?本文提出了一个物理模型,推导出了半球型及球冠型轨道分子屏极高真空系统的抽气方程。通过解含时间的微分方程,可得到相同的抽气方程。该方程适用于其它形状的轨道分子屏极高真空系统。