用FTMS方法原位制备Yba_2Cu_3O_（7－δ）薄膜气压和位置相关性研究

摘要

本文用双靶相对磁控溅射法（ＦＴＭＳ）在１．２Ｐａ至２６．６Ｐａ气压范围原位制备高温超导ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－б薄膜，重点研究了溅射气压和功率与双靶间距和衬底位置之间的相关性．结果表明，为制备高质量超导薄膜，在不同的溅射气压下，存在不同的靶一衬底最佳几何配置，溅射薄膜的组分、性能和溅射粒子的空间分布亦取决于这些参数的选取．