基于激光-CCD的高精度在线测厚系统研究

摘要

通过对各种测厚传感器性能指标的综合评价,以及对多种厚度测量方法的对比研究,提出了一种以激光传感器和CCD扫描技术相结合、以计算机控制技术为核心的厚度测量的新方法。实际测量现场中,步进电机突然制动所引入的外来振动干扰以及因环境温度变化所导致的工作台变形都是导致厚度测量误差的重要因素,联合对振动系统的建模分析与对测点位置实时标定,以在线补偿测量误差,由此共同构建一个复合板厚度在线监测系统。实际应用结果表时,该系统可有效抑制外来诸多干扰因素的影响,从而实现了复合板厚度的在线高精度测量。