Co薄膜的稳定性和室温相观察

摘要

用电镜对 Ｓｉ （００１） 基体上的 Ｃｏ 薄膜的室温相和稳定性进行了观察， 高分辨像和小角解理的电子衍射结果均表明： 室温下， Ｃｏ 薄膜不发生反应， 室温相为α Ｃｏ， 没有硅化物形成． Ｃｏ 薄膜在经过３００ ℃２ｈ 退火后， 薄膜发生部分凝聚现象， 凝聚团由硅化物组成． ３００ ℃退火后薄膜由 Ｃｏ２ Ｓｉ 和 Ｃｏ Ｓｉ