离子辐照下固体表面的成分和结构变化

摘要

随着离子束材料改性和离子束表面分析技术的发展,进一步了解离子束对固体表面的作用是极为重要的,为此不仅要研究离子束与固体中原子、电子的直接作用,而且要研究在这种作用下达到固体表面终态分布和微结构的各种物理过程。本文仅就离子辐照下固体表面的成分分布变化以及结构变化的最近进展情况予以评述。