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皮秒激光辐照下半导体表面结构变化的研究

     

摘要

研究了皮钞激光辐照下,半导体吸收和反射特性与材料性质、激光能量密度及激光产生电子-空穴等离子体的关系.实验测量了硅材料与掺杂硅材料表面反射率与Nd∶ YAG锁模激光器能量密度的关系曲线,给出了分析靶面结构的方法.

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