脉冲真空弧源沉积类金刚石薄膜耐磨特性研究

摘要

本文利用脉冲真空弧源沉积技术在Cr17Ni14Cu4不锈钢和Si(10 0 )基体上制备了类金刚石 (DLC)薄膜 ,研究在不同基体偏压下 ,DLC薄膜的结构与性能。采用拉曼光谱和X射线光电子能谱 (XPS)研究DLC薄膜的原子结合状态 ,利用CSEM销盘摩擦磨损试验机研究其耐磨性 ,利用HXD10 0 0B显微硬度仪测试其显微硬度 ,并采用压痕法评价其结合力。研究结果表明 :DLC薄膜与基体结合牢固。随着基体偏压的提高 ,DLC薄膜内sp3 键含量增大 ,薄膜硬度提高。Cr17Ni14Cu4不锈钢表面沉积DLC薄膜后 ,耐磨性大幅度提高 ,本文探讨了DLC薄膜的耐磨机理。