ES势垒随台阶高度变化对薄膜生长的影响

摘要

建立一个模拟薄膜三维生长的蒙特卡罗模型,模型中Ehrlich-Schwoebel(ES)势垒随台阶高度不同而变化。模拟结果表明:考虑ES势垒时,随着基底温度升高和沉积速率的降低,薄膜的粗糙度越来越低,成膜质量越好;一层ES势垒和层间势垒差对薄膜生长机制和成膜质量都有影响。