退火温度对InP晶体中Er^(3+)离子的发光特性影响的研究

摘要

利用离子注入法，以３００ｋｅＶ的能量，７×１０１４ｃｍ－２的剂量，在室温下，对（１００）ＩｎＰ晶体进行稀土（ＲＥ）元素Ｅｒ的注入；分别在６００℃、６５０℃、７００℃、７５０℃、８００℃温度下，采用安瓿闭管恒温退火２０ｈ。二次离子质谱仪（ＳＩＭＳ）观测到稀土元素Ｅｒ原子在ＩｎＰ中的分布，直到８００℃时几乎没有变化；在７７Ｋ温度下，观测到ＩｎＰ中Ｅｒ３＋离子的１．５４μｍ特征光致发光（ＰＬ）峰。