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位置敏感器PSD在几何量测量中的应用和展望

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本文介绍了位置敏感器ＰＳＤ的结构原理及特点，对多种光电转换元件的性能及特点进行了归纳比较，并阐述了ＰＳＤ在几何量测量中的各种应用及其发展动向．

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来源
《工具技术》 |1996年第12期|37-40|共4页
作者
陈刚; 范天泉;
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作者单位

中国科学院光电技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TG8－39;TP212;
关键词
位置敏感器; 几何量; 测量; PSD; 传感器;

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