硅单晶提拉生长中拉速稳定性研究

摘要

为解决硅单晶提拉生长过程中拉速不稳定、波动较大的问题,在分析晶体生长界面热量及质量传输的基础上,通过控制温度补偿速率来抑制拉速大幅波动。采取基于遗传算法优化隶属度函数的模糊控制策略,对温度补偿速率进行控制,调节加热功率,使炉内热环境处于适宜晶体生长的范围。实验结果表明,在提高系统控径精度的同时,拉速稳定性也有显著提高,大幅波动明显减少。