利用直流辉光放电的细长金属管内表面常温注氮方法

摘要

本发明属于低温等离子体技术领域中材料表面改性技术，公开了一种利用直流辉先放电等离子体的细长金属管内表面常温注氮方法，其特征是：采用同轴电极结构、在氩气和氮气或氨气保护下，利用几千伏的直流恒定高电压在细长金属管内产生稳定的圆筒状直流辉光等离子体，管内产生的圆筒状直流辉光等离子体的长度通过电压源电压进行控制，无需对待处理金属管加热或散热，