直流辉光放电氮原子离子的Monte Carlo模拟研究

摘要

采用氮直流辉光放电等离子体中快电子和离子(N+2,N+)混合的蒙特卡罗模型, 模拟研究了 e-+ N2N++N+2e和N+2+N2 N++N+N2过程离子N+的产生率轴向分布随放电参数的变化规律及其轰击阴极的能量分布. 结果表明, 两种离解过程中氮原子离子(N+)的产生率均随气压和电压的增加而增大, 随放电气体温度的升高而降低; 但N+2-N2离解碰撞主要发生在阴极附近. 在电压较高时, 阴极处的N+主要由N+2-N2离解过程产生; 在电压较低时, N+2-N2离解过程可忽略.