电容式加速度计单芯片开环检测电路的研制

摘要

针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路。与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路。当电源电压为5V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度为15.8mV/g,线性误差为1.8%,噪声电压的峰峰值小于200μV(12.6 mg),测量范围为+/-100g。