电容式微加速度计专用集成电路温度特性研究

摘要

温度是影响微加速度计性能的一个重要的因素。本文在介绍微加速度计系统的基础上，介绍了电容式微加速度计专用集成电路，通过软件仿真和实际的温度试验，研究了专用集成电路的温度特性，给出了仿真和实测结果，并进行了相应的对比和分析。结果表明：电容式微加速度计专用集成电路取得了较好的温度特性，这对进一步提高和改善微加速度计温度性能具有重要的意义。