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马向国; 刘同娟; 顾文琪;
北京物资学院;
北京101149;
中国科学院电工研究所;
北京100080;
聚焦离子束; 液态金属离子源; 测试系统; 发射特性;
机译:使用过滤的液态金属合金离子源聚焦的离子束对Si基板进行最终的纳米图案化
机译:用于碳聚焦离子束的合金液态金属离子源
机译:长寿命铋液态金属离子源,用于聚焦离子束微加工应用
机译:具有聚焦离子束系统的抑制器的液态金属离子源的离子束特性
机译:使用镓和金的液态金属离子源对硅和砷化镓进行聚焦离子束微加工。
机译:来自冷原子束离子源的高亮度Cs聚焦离子束
机译:聚焦离子束工艺用液态金属合金离子源的研制研究
机译:用于meV离子束分析的锂液态金属离子源的研制。
机译:铯液态金属源,其操作方法和操作方法,使用铯液态金属离子源的二次离子质量分析装置以及聚焦离子束装置
机译:操作聚焦离子束系统液态金属离子源的方法
机译:液态金属离子源和聚焦离子束装置
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