微波离子源聚焦离子束光学系统的研究

摘要

设计了一种微波离子源的聚焦离子束光学系统,分析计算了该光学系统的束径,并数值模拟了由空间电荷作用造成的束径增宽效应,找出了影响束斑大小的主要因素和减小束径的方法.测试结果表明,在束能为25keV时,束流为148nA,束径约为20μm左右.