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中国科学院理化技术研究所;
设备开发; 激光源; 全固态; 深紫外; 装备; 项目组织管理; 知识产权保护; 科技成果;
机译:光子前沿:极紫外光源:相干光源到达极紫外
机译:“极端紫外线光刻光源开发的最前沿”特色
机译:准分子DBD紫外光源的重复高压全固态马克思发生器
机译:使用全固态深紫外相干光源的两光束通量暴露技术,用于制造周期性结构医疗设备
机译:开发用于飞秒/阿秒光源的科学研究用的极紫外和软X射线多层光学器件。
机译:基于深紫外吸收分光光度法的甲苯检测器的开发,该检测器使用带有LED光源的玻璃和铝毛细管气体池
机译:使用富含紫外线的光源开发用于太阳能电池制造的新型RTp类加工:合作研究和开发最终报告,CRaDa No. CRD-11-442
机译:用于臭氧传感应用的全固态紫外线发射器开发
机译:紫外光源具有结合,电离和受激准分子的形成
机译:窄带受激准分子激光器可用作工业半导体器件制造中的紫外线光源
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