聚酰亚胺与硅片粘附牢度的研究

摘要

本文针对聚酰亚胺与硅片粘附性问题进行了实验和考察。提出了一种新的提高其粘附牢度的方法,此方法就是通过使用简单方便的液相钝化方法,先在硅片表面上生长一层薄膜,再在生长的薄膜上用聚酰亚胺进行保护。