低辐射薄膜TiO_2-Ag-TiO_2-SiO的纳米尺度显微结构

摘要

成功地制备了 ＴｉＯ２－Ａｇ－ＴｉＯ２－ＳｉＯ超薄多层膜的截面样品，并对其微观结构进行 ＴＥＭ， ＨＲＥＭ及纳米束 ＥＤＳ分析结果表明，薄膜各层厚度均匀，界面明锐、光滑 Ａｇ层由纳米晶组成，而 ＴｉＯ２和 ＳｉＯ层为非晶 Ａｇ在膜层中没有扩散或聚团。