镍硅化物工艺新进展

摘要

随着MOSFET器件的特征尺寸进入亚100 nm,传统自对准硅化物材料,如TiSi2和Co-Si2,由于其硅化物形成工艺的高硅耗、高形成热预算和线宽效应等特点,已不能满足纳米尺寸器件对硅化物材料的要求,显现出其作为自对准硅化物材料的局限性。NiSi与传统自对准硅化物材料相比,不但具有硅化物形成工艺的低硅耗和低形成热预算,而且具有低电阻率,又不存在线宽效应。所以,NiSi作为纳米尺寸器件最有希望的自对准硅化物材料得到广泛的关注和研究。综合介绍了镍硅化物特性,一硅化镍薄膜形成工艺及其工艺控制问题。